測(cè)試軟件與系統(tǒng)
GtestWorks自動(dòng)化測(cè)試平臺(tái)
在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，綠測(cè)科技始終致力于為半導(dǎo)體器件的研發(fā)與生產(chǎn)提供專業(yè)測(cè)試解決方案。STS系列半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)正是針對(duì)MOSFET、IGBT等半導(dǎo)體器件特性打造的專用測(cè)試平臺(tái)，為半導(dǎo)體器件提供從參數(shù)驗(yàn)證到可靠性評(píng)估的全流程測(cè)試支持。
STS系列半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)能夠在寬范的工作條件下測(cè)試所有相關(guān)器件參數(shù)，包括擊穿電壓、導(dǎo)通電阻以及三端子FET電容、柵極電荷和功耗等IV參數(shù)。
輸出范圍±210V/±10.5A（脈沖），最小分辨率100nV/10fA。（可定制）
頻率可達(dá)1kHz-1MHz，電容測(cè)量范圍100fF-1μF。（可定制）
配備插座適配器，避免插入式器件連接錯(cuò)誤。（可定制）
| 型號(hào) | STS6001 | ||
|---|---|---|---|
| 集電極/漏極通道 | 最大輸出 | 電壓 | DC±210V |
| 電流 | DC±3.03A | ||
| 脈沖±10.5A | |||
最小分辨率 | 源極 | 100nV*1/10fA*1 | |
| 測(cè)量 | 100nV*1/10fA*1 | ||
| 柵極通道 | 最大輸出 | 電壓 | DC±210V |
| 電流 | DC±3.03A | ||
| 脈沖±10.5A | |||
| 最小分辨率 | 源極 | 100nV*1/10fA*1 | |
| 測(cè)量 | 100nV*1/10fA*1 | ||
| 電容測(cè)量 | 最大偏置電壓 | 集電極/漏極/柵極 | ±210V |
| 頻率范圍 | 1kHz-1MHz | ||
| 電容范圍 | 100fF-1μF | ||
| 工作范圍 | IV功能 | 集電極/漏極電壓 | DC±210V |
| 集電極/漏極電流 | DC±3.03A | ||
| 脈沖±10.5A | |||
| 柵極 | DC±210V/±3.03A | ||
| 脈沖±210V/±10.5A | |||
| CV功能 | 集電極/漏極/柵極 直流偏置電壓 | ±210V | |
| 頻率 | 1kHz-1MHz | ||
| 電容 | 100fF-100nF | ||
| 柵極電荷功能 | Qg、Qgd、Qd | 1nC-100μC | |
| VDD | 210V | ||
| ID | 10.5A | ||
| 柵極驅(qū)動(dòng) | ±30V | ||
*1. 需選配SMU模塊
STS系列半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)圍繞“功能模塊+測(cè)試能力”雙維度設(shè)計(jì)，既確保操作直觀高效，又實(shí)現(xiàn)全面的測(cè)試覆蓋。系統(tǒng)搭配IVCVQG測(cè)試治具和SemiWorks上位機(jī)測(cè)試軟件，可實(shí)現(xiàn)多維度測(cè)試能力，滿足半導(dǎo)體器件從研發(fā)到量產(chǎn)的全生命周期測(cè)試需求。
具備寬泛的電壓和電流（選配，3kV和1500A）
低于毫微安的電流測(cè)量
IVCVQG測(cè)試治具集成全自動(dòng)測(cè)試切換電路，可完成高壓和大電流測(cè)試以及IV、CV測(cè)量切換
從參數(shù)驗(yàn)證到可靠性評(píng)估，實(shí)現(xiàn)全流程測(cè)試支持
